硬质合金抛光一般在短绒或无绒织物上进行，使用金刚石磨料，粒度从15目开始依次减小。抛光中还应使用润滑剂，其一方面起冷却作用，防止一些相在抛光中升温发生变化，另一方面可及时把抛光中产生的磨屑从抛光织物上清除。一般推荐使用金刚石喷雾剂，其中磨料较均匀．同时配置了含酒精的润滑剂。

      还有一种腐蚀性抛光剂，即把化学腐蚀与物理抛磨结合在一起．其效果虽不及金刚石，但有一定实用性．腐蚀抛光液的配置成分为：1000mL水加10g K₃[Fe(CN)₆](铁氰化钾)、10g KOH(氢氧化钾)及约40g Cr₂O₃(三氧化二铬)或氧化铝粉。在使用时，要经常搅动抛光液．使抛光粉在溶液中占一定比例。用该腐蚀剂抛光，试样不可避免会产生一些浮雕现象，这对显示”相及游离石墨有一定影响。为改善这种状况，抛光后呵用3μm～6μm人造金刚石研磨膏精抛。